最大功率

15KW

50KW

65KW

最高加熱溫度

1500℃

有效加熱面積

Dia100X100

Dia200X300

Dia300X400

保溫方式

鉬、不銹鋼隔熱屏

控溫模式

采用宇電程序控溫儀表（標配）1、30段程序控溫智能PID調節。

2、具有過溫保護 斷偶保護過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,，（當電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時，主電路上的交流繼電器會自動斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護電爐）。

3、帶有485 通訊接口（選購軟件時標配）

4、具有斷電保護功能，即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。

5、儀表具有溫度自整定的功能

腔體

腔體采用鉬和不銹鋼作為隔熱屏，鉬片為加熱元件；有效加熱面積Dia100X100mm；腔體無雜質，不污染材料

腔體真空度（擴散泵機組）

（方案二）

< 5X10 ^-3Pa

腔體充氣壓力

< 0.05MPa

升壓率

<4Pa/小時

斷偶保護和顯示

有

過溫保護

過流保護

欠壓保護（水壓）

控制精度

+/- ?1 ℃（600度以上）

溫度檢測方式

B型熱電偶

最大升溫速率

< 20℃/Min

真空腔體內是否水冷

是

冷水機（選配）

5P

6P

8P

機組輸入電壓

380V /220V

波紋管

KF40X1000

真空擋板閥

KF40

分子泵

分子泵型號

FF-160

FF-200

FF-200

輸入電壓

220V

分子泵進氣口法蘭

DN160

DN200

分子泵抽氣速率L/S（對空氣）

600

1200

分子泵極限壓強（Pa)

6×10^-7

冷卻方式

水冷

冷卻水壓（MPa）

0.1-0.2

冷卻水溫度

<25℃

環境溫度

0~40℃

建議啟動壓強

10pa

前機真空泵BSV30

功率

1.1KW

1.8KW

電壓

380V

轉速

1420rpm

1450rpm

進氣口徑

KF25/KF40

前機泵抽氣速率（L/S）

8

15

極限壓強

5X10^-1Pa

4X10 ^-2Pa

擴散泵TK200

電壓

220V

功率

1800W

進氣接口

DN200

出氣接口

DN40

注入油量

0.55L

抽氣速率（N2）

2000L/S

復合真空計

復合真空計型號

ZDF

電源

220V ??55W

控制精度

± 1%

真空計測量范圍

10^-5-10⁵Pa

冷水機

設備型號

05A

06A

08A

總功率

5.9KW

7KW

10KW

制冷量

13.6KW

15.4KW

21.2KW

電源

380V/50Hz

外形尺寸

1150×520×1140

1300×650×1140mm

1335×730×1415

重量

180Kg

180Kg

285Kg