產品編號:044004
規格型號:VTC-16-3HD
應用領域:
本機采用旋轉式樣品臺,能夠依次在同一樣品上涂覆三層薄膜,適用于實驗室制備復膜的樣品。VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀采用PLC控制面板對設備進行控制,操作方便直觀。該機設備小巧,占用實驗室空間少,操作簡單,應用廣泛。因此被廣泛應用于各大高校及科研院所的實驗室中。
產品持續更新中,詳情咨詢客服人員!!!
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產品編號:044004
規格型號:VTC-16-3HD
應用領域:
本機采用旋轉式樣品臺,能夠依次在同一樣品上涂覆三層薄膜,適用于實驗室制備復膜的樣品。VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀采用PLC控制面板對設備進行控制,操作方便直觀。該機設備小巧,占用實驗室空間少,操作簡單,應用廣泛。因此被廣泛應用于各大高校及科研院所的實驗室中。
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產品介紹 | VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子薄膜濺射儀(直流普通型),控制面板采用觸摸屏模式,基片極限尺寸為2″,放置樣品的直徑為φ50mm,加熱溫度達500℃。VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀可濺射金、銀、銅三種靶材,不可以濺射輕金屬和碳。 |
產品參數 | 1、輸入功率:110V/220V通用2000W(含真空泵) 3、石英罩:φ160mm×120mm 4、樣品臺:φ50mm(可選購加熱型樣品臺,最高溫度可到500℃;最長濺射時間不可超過5min) 5、真空泵:120L/M旋片式真空泵 7、靶材:尺寸直徑φ47mm,厚度0.1mm-3mm;可濺射Au、Ag、Pt、Cr、Ni,不可濺射氧化物、半導體、一些輕金屬、Al、Zn、C等 8、尺寸:360mm×350mm×3600mm; 可選配件: 1、KF25真空接口、卡箍 2、不銹鋼波紋管(600mm) 3、旋片式真空泵(120L/M) 4、鉑、銀、鋅等各種高純度金屬靶材 5、加熱型樣品臺 |